光氧催化廢氣處理裝置采用紫外線光源對廢氣分子鏈進行凈化的技術，運用253.7納米波段光切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結構，為第一重處理；取185納米波段光對廢氣分子進行催化氧化，使破壞后的分子或中子、原子以O3進行結合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉變成低分子化合物CO2、H2O等，為第二重處理；再根據不同的廢氣成分配置8種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，全方位與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率，催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化效果，為第三重處理，通過三重處理后的廢氣其除臭最高可達99%以上，凈化、脫臭效果大大超過國家1993年頒布的惡臭污染物排放標準（GB14554-93）。
揮發性的有機化合物，簡稱為VOC(Volatile Organic Compounds))，在工業生產中，通常作為溶劑來使用，使用之后便散發到大氣中?，F階段，其應用比較廣泛的領域包括石油化工、印刷、人造革及電子元器件、烤漆和醫藥等。

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